В январе 2011 года была произведена модернизация установки HCVD-55находящейся в МИЭТ-е (г. Зеленоград).
Проиллюстрировать выполненную работу помогут несколько фотографий:
- В столе, где раньше располагался старый компьютер и панель с газовой схемой расположились источники питания РРГ, клапанов, и персональный компьютер.
- Установили модули дискретного и аналогового ввода/вывода, в шкафу "Газовая система" фото 1 (HCVD "МИЭТ"), фото 2 (HCVD "МИЭТ") , фото 3 (HCVD "МИЭТ")
- Шкаф "Вакуумное устройство 1". В этом шкафу разместили блоки питания баратронов и РРГ-стабилизации давления, модули дискретного ввода и аналогового ввода/вывода:
- Шкаф "Вакуумное устройство 2" - удалили. Вместо старых вакуумных насосов теперь работают новые - "EDWARDS"
- Новые блоки управления нагревом (БУН) расположились вместо небольшой стойки :
Следующие несколько фоток показывают выход печки на заданную температуру : - Выход на заданую температуру (первое включение)
- Выход на заданую температуру (после поправки коэфф. ПИД-закона)
- Целая стойка с электроникой для управления загрузчиком была удалена.
Новая система управления загрузкой/выгрузкой состоит из трех плат управления загрузчиками (БУЗ) и одной платой управления переукладчиком (БУП)
Здесь несколько фотографий:
- Платы управления загрузчиками фото 1 (HCVD "МИЭТ"), фото 2 (HCVD "МИЭТ")
- Вид с другой стороны фото 3 (HCVD "МИЭТ")
- Плата управления переукладчиком фото 1 (HCVD "МИЭТ")