Варианты поставки
Установки поставляются подготовлеными под технологию Заказчика, либо с отдельной разработкой технологии Исполнителем по желанию Заказчика на своей лабораторной базе с последующим переносом технологии на заказанную установку со всеми необходимыми ее доработками.
Реализованные технологии
На установке этого типа были реализованы следующие технологии:
- напыление РС 3710 с поверхностным сопротивлением от 20 до 1000 Ом/□ и более;
- напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением от 20 до 150 Ом/□ и ТКС менее 5*10-5;
- напыление толстых (до 15 мкм) слоев металла;
- напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле;
- напыление двуокиси кремния и нитрида кремния на керамические и кремниевые пластины диаметром до 100 мм.
Описание
Для встраивания в чистую комнату установка снабжается специальной плоской панелью, за которой размещается установка и на которой крепится второй дисплей управления.
В чистую комнату открывается только загрузочная дверь.
При обслуживании установки (замена магнетронов, внутрикамерной оснастки, экранов и т. д. ) ниша двери перекрывается специальным экраном, и камера может подниматься над основанием с помощью гидроподъемника на высоту 3 метра от пола и потом опускаться на исходную высоту в удобном для обслуживания положении. Крышка камеры также съемная.
Полная разборка и сборка внутрикамерного устройства у обученного персонала займет не более 1 часа. Установка комплектуется двойным набором подложкодержателей. Полная перегрузка установки занимает не более 2 минут.
Скорость напыления Al при одном работающем 18 КВА блоке составит чуть более 7 мкм/час на барабан. С учетом откачки и остывания в этой конфигурации можно получить длительность цикла порядка 2 - 2.5 часа.
Вариант конфигурации: