Прецизионная микрообработка МЛ1

Прецизионная микрообработка МЛ1

Назначение

Прецизионная размерная обработка разнообразных металлических и неметаллических материалов (резка, фрезерование, прошивка отверстий, гравировка и т.д.) с минимальными размерами дефектных зон.

Изготовление паяльных масок, подложек микросхем, микроотверстий и т.д.

Обрабатываемые материалы:

  • труднообрабатываемые металлы, сплавы (вольфрам, молибден, твердые сплавы, серебро и др.), керамика, поликор, сапфир;
  • тонкие листы черных и цветных металлов (сталь, медь, латунь, алюминий, титан и др.);
  • неметаллические материалы (поликор, ситалл, сапфир, корунд, керамика, алмазы и др.).

Основные модули

  • Лазер: модель МЛ1-1 - одномодовый (маломодовый) импульсный Nd: YAG лазер с повышенной пиковой мощностью импульса с управляемой амплитудно-временной структурой излучения, модель МЛ1-2 - импульсный лазер видимого диапазона спектра (лазер на парах меди или 2-я гармоника неодимового лазера).
  • Оптическая система: модуль силовой оптики. TV-система визуального наблюдения и контроля. Cменные силовые объективы с насадками для различных видов обработки.
  • Блоки питания, охлаждения и управления: питание и управление функциональными модулями по командам от компьютера. Термостабилизированная система охлаждения типа "вода-вода".
  • Кинематическая система: прецизионный X-Y координатный стол для перемещения детали. Z-привод для перемещения силовой оптики. Модуль вращения луча.
  • Пневматическая система: электроклапаны, фильтры-регуляторы, сопла, быстроразъемные соединители и шланги для подачи газов в зону обработки.
  • Опорный каркас: виброустойчивая компоновка. Защитная технологическая рабочая камера с освещением и системой блокировок.
  • Система управления: пульт ручного управления, педаль, индикаторы, IBM PC-совместимый компьютер.
  • Программное обеспечение: загрузка, обработка и выполнение файлов-заданий (чертеж + технологические параметры для лазера и координатных столов). Настройка и сохранение технологических параметров. Контроль и самодиагностика системы.

Технические характеристики

модель МЛ1-1 модель МЛ1-2
Длина волны излучения, мкм 1,06 0,51; 0,58
Энергия импульса, мДж, не более 50 1,0
Частота повторения импульсов, Гц 200 ... 1000 не менее 10000
Средняя мощность лазера, Вт до 60 до 15
Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм 50 ... 100 менее 40
Размеры XY координатного стола, мм 150 / 150 (300 / 400) 150 / 150 (300 / 400)
Точность позиционирования XY координатного стола, мкм 3 (10) 3 (10)

Примеры работ, выполняемых на установке

Микрообработка (поликор, керамика, медь, латунь)
Микрообработка, латунь