
Применение
Установка предназначена для ориентированной обработки пластин или заготовок (надрезание, сквозное разделение, подшлифовка торцов) полупроводниковых и диэлектрических материалов (кремний, германий, поликор, сапфир, ситалл, кварц, ниобат лития, арсенид и фосфид галлия и др.) на глубину до 3мм при толщинах до 12мм диаметром от 20 до 150мм алмазными отрезными кругами.
Устройство
Установка построена по модульному принципу, позволяющему легко производить как аппаратную, так и программную модернизацию под заказ.
Установка оснащена новой видеоконтрольной системой, состоящей из модульной видеокамеры (380 линий), монитора (32см) и устройства формирования электронного визира.
Основой модернизации является новая микропроцессорная система на основе Intel 386EX. Электронная часть управления приводами имеет встроенную защиту от перегрузки и микрошаговые режимы.
Все вышеперечисленное позволило повысить качество и надежность работы установки.
Характеристики
Y-привод | |
Дискрет перемещения, мкм | 3 |
Точность позиционирования, мкм | 10 |
Задаваемый шаг, мм | 0,01 - 99,99 |
Режим позиционирования | с плавным разгоном |
X-привод | |
Скорость, мм/сек | от 0,1 до 100 |
Дискрет перемещения (при винтовом приводе), мкм | 10 |
Дискрет перемещения (при ременном приводе), мкм | 15 |
По желанию заказчика возможна поставка программы с необходимым законом врезания и резки по координате X. | |
Z-привод | |
Программируемое перемещение | от 0 до 12мм с дискретом 10 мкм |
Стол | |
Возможна поставка на заказ программы с автоматическим поворотом стола на любой угол. | |
Шпиндель | |
![]() |