
Особенности
Загрузка/выгрузка пластин в спутниках производится вручную
Конструкция камеры очистки установки имеет отличие от зарубежных аналогов и запатентована
Эффективная отмывка деионизованной водой, смешанной с воздухом под давлением
Сушка воздухом или N2 с подогревом на высокоскоростной центрифуге
Слежение за процессом очистки с помощью ЖК-дисплея, контрольных датчиков и сигнальной лампы
Несложное устройство, простое управление, хранение технологических программ очистки, не требует специального обучения персонала
Европейские стандарты электробезопасности, знак СЕ
Опции
Предметный стол 6''
RINSE
Входной регулятор давления воздуха с манометром
Воздушный пистолет
Технические характеристики
Параметр | Значение |
Максимальный диаметр | Ø200 мм |
Скорость центрифуги | 0 - 3000 об/мин |
Время мойки/сушки | 0 - 999 с |
Давление воздуха, не более | 0,5 МПа |
Давление N2, не более | 0,4 МПа |
Давление деионизованной воды | 0,2 МПа |
Расход воды, не более | 0,8 л/мин |
Температура нагревателя | 25-70 C |
Функции контроля | Вода, воздух, N2, T нагревателя, обороты центрифуги |
Стол | |
Электропитание | ~ 110/220 В, 50-60 Гц, 0.3 КВт, однофазная |
Габаритные размеры | 475Wх585Dх660H мм |
Масса | 60 кг |