Автоматическая система очистки пластин EP200

Автоматическая система очистки пластин   EP200

Особенности

Загрузка/выгрузка пластин в спутниках производится вручную

Конструкция камеры очистки установки имеет отличие от зарубежных аналогов и запатентована

Эффективная отмывка деионизованной водой, смешанной с воздухом под давлением

Сушка воздухом или N2 с подогревом на высокоскоростной центрифуге

Слежение за процессом очистки с помощью ЖК-дисплея, контрольных датчиков и сигнальной лампы

Несложное устройство, простое управление, хранение технологических программ очистки, не требует специального обучения персонала

Европейские стандарты электробезопасности, знак СЕ

Опции

Предметный стол 6''

RINSE

Входной регулятор давления воздуха с манометром

Воздушный пистолет

Технические характеристики

Параметр Значение
Максимальный диаметр Ø200 мм
Скорость центрифуги 0 - 3000 об/мин
Время мойки/сушки 0 - 999 с
Давление воздуха, не более 0,5 МПа
Давление N2, не более 0,4 МПа
Давление деионизованной воды 0,2 МПа
Расход воды, не более 0,8 л/мин
Температура нагревателя 25-70 C
Функции контроля Вода, воздух, N2, T нагревателя, обороты центрифуги
Стол  
Электропитание ~ 110/220 В, 50-60 Гц, 0.3 КВт, однофазная
Габаритные размеры 475Wх585Dх660H мм
Масса 60 кг