Назначение
Установка "Каролина Д12Б" - полностью автоматическая установка магнетронного напыления - предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм) подложки размером до Ø 100 мм (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 100x350 мм).
Установка имеет возможность установки до 8 магнетронов с размером мишени 440×100×6×15 мм. (например РС, хром, медь, никель, алюминий, ванадий и т.д.), изнутри и снаружи цилиндрического барабана для напыления:
- резистивных пленок из материалов типа РС 3710; РС 5406; РС-1004 и т.д.
- пленок титана, нитрида или окиси титана
- нитрида тантала
- алюминия толщиной до 15 мкм, меди до 15 мкм,
- двуокиси кремния и нитрида кремния толщиной до 4 мкм и со скоростью до 1.5 мкм/час на барабан.
Установка обеспечивает также:
- чистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ионного источника постоянного тока (при необходимости два ионных источника изнутри и снаружи барабана);
- нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
- стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
- отпыливание мишени любого из одного - восьми магнетронов на управляемую заслонку;
- вертикальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся барабане;
- автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума;
- автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени;
- контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению
- размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.
- Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.
Также:
- Вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства загрузки-выгрузки носителей. Для обслуживания камеры она поднимается над плитой - основанием с помощью гидроподъемника.
- Установка в предельном варианте комплектации имеет два комплекта блоков питания магнетрона и ионного источника и блок подачи смещения на барабан-подложкодержатель.
- Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.
- Возможно применение планетарного механизма вращения цилиндрических подложек (ось вращения - вертикальна) диаметром до 100 мм.