Каролина Д12А

Каролина Д12А

Назначение

Установка "Каролина Д 12 А" предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и другие подложки размером до Ø 100 мм.

Установка имеет возможность установки либо 4-х магнетронов (например РС, хром, медь, никель), либо 3-х магнетронов и источника термического испарения и т.д. для напыления:

  • резистивных пленок из материалов типа РС 3710; РС 5406; РС-1004 и т.д.
  • пленок титана, нитрида или окиси титана
  • нитрида тантала
  • алюминия толщиной до 15 мкм., меди до 15мкм.,
  • двуокиси кремния и нитрида кремния.

Установка обеспечивает также:

  • очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ВЧ источника плазмы высокой плотности или ионного источника постоянного тока;
  • нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • отпыливание мишени любого из одного ? четырех магнетронов на управляемую заслонку;
  • горизонтальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся диске;
  • автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума;
  • автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени;
  • контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля, а также по кварцевому измерителю толщины и т.д.;
  • размещение изделий на легко снимаемой с держателя карусели с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.
  • Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.

Условия эксплуатации

Установка предназначена для работы при температуре от +15 до +30 °С, относительной влажности 65 + 15%, атмосферном давлении 99000 Па (750 + 30мм. рт. ст.).

Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ? 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А.

Установка обеспечивает работу при подаче в нее:

  • холодной воды с температурой +5 ... +20 °С под давлением (4 ... 5 кгс/см2.) с расходом 0,6 м3/час.
  • кислорода газообразного под давлением 1 ... 1,5 кг/см2, аргона газообразного марки "особо чистый" под давлением 1 ... 1,5 кг/см2, азота газообразного марки ?особо чистый? под давлением 1 ... 1,5 кг/см2.

Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм (свободный слив).

Варианты поставки

Установки поставляются подготовлеными под технологию Заказчика, либо с отдельной разработкой технологии Исполнителем по желанию Заказчика на своей лабораторной базе с последующим переносом технологии на заказанную установку со всеми необходимыми ее доработками.

Реализованные технологии

На установке этого типа были реализованы следующие технологии:

  • напыление РС-3710 с поверхностным сопротивлением от 20 до 1000 Ом/□ и более
  • напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением от 20 до 150 Ом/□ и ТКС менее 5*10-5
  • напыление толстых (до 15 мкм) слоев металла
  • напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле
  • напыление двуокиси кремния и нитрида кремния на керамические и кремниевые пластины диаметром до 100 мм.