Назначение
Установка "Каролина Д 12 А" предназначена для магнетронного напыления на керамические, кремниевые и другие подложки размером до Ø 100 мм.
Установка имеет возможность установки либо 4-х магнетронов (например РС, хром, медь, никель), либо 3-х магнетронов и источника термического испарения и т.д. для напыления:
- резистивных пленок из материалов типа РС 3710; РС 5406; РС-1004 и т.д.
- пленок титана, нитрида или окиси титана
- нитрида тантала
- алюминия толщиной до 15 мкм., меди до 15мкм.,
- двуокиси кремния и нитрида кремния.
Установка обеспечивает также:
- очистку поверхности изделий перед напылением с целью улучшения адгезии напыляемых слоев с помощью ВЧ источника плазмы высокой плотности или ионного источника постоянного тока;
- нагрев изделий до заданной температуры, контроль и поддержание температуры в процессе напыления слоев;
- стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
- отпыливание мишени любого из одного ? четырех магнетронов на управляемую заслонку;
- горизонтальное расположение мишеней на магнетронах и изделий на вращающемся диске;
- автоматическое выполнение цикла откачки рабочей камеры от атмосферы до стартового вакуума;
- автоматическое окончание цикла очистки изделий по заданному времени;
- контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля, а также по кварцевому измерителю толщины и т.д.;
- размещение изделий на легко снимаемой с держателя карусели с целью сокращения времени загрузки и выгрузки.
- Возможно размещение нестандартных узлов нанесения или травления пленок, дополнительных нагревателей, измерителей и т.д., если позволяют габариты камеры.
Условия эксплуатации
Установка предназначена для работы при температуре от +15 до +30 °С, относительной влажности 65 + 15%, атмосферном давлении 99000 Па (750 + 30мм. рт. ст.).
Питание установки осуществляется от трехфазной четырехпроводной сети с нулевым проводом переменного тока напряжением 380 В ? 10%, частотой 50 Гц. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 50 А.
Установка обеспечивает работу при подаче в нее:
- холодной воды с температурой +5 ... +20 °С под давлением (4 ... 5 кгс/см2.) с расходом 0,6 м3/час.
- кислорода газообразного под давлением 1 ... 1,5 кг/см2, аргона газообразного марки "особо чистый" под давлением 1 ... 1,5 кг/см2, азота газообразного марки ?особо чистый? под давлением 1 ... 1,5 кг/см2.
Необходимо подвести к установке линию слива охлаждающей воды диаметром не менее 20 мм (свободный слив).
Варианты поставки
Установки поставляются подготовлеными под технологию Заказчика, либо с отдельной разработкой технологии Исполнителем по желанию Заказчика на своей лабораторной базе с последующим переносом технологии на заказанную установку со всеми необходимыми ее доработками.
Реализованные технологии
На установке этого типа были реализованы следующие технологии:
- напыление РС-3710 с поверхностным сопротивлением от 20 до 1000 Ом/□ и более
- напыление нитрида тантала с поверхностным сопротивлением от 20 до 150 Ом/□ и ТКС менее 5*10-5
- напыление толстых (до 15 мкм) слоев металла
- напыление последовательных слоев РС и металла в одном цикле
- напыление двуокиси кремния и нитрида кремния на керамические и кремниевые пластины диаметром до 100 мм.